SHII系列空心阴极电源
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SH II系列空心阴极电源技术规格 |
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本电源系统用于以空心热阴极等离子电子束蒸发源（HCD枪）实现金属材料蒸发的电源设备，采用高频开关技术,系统集成度高，工作效率高,性能稳定。 |
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系统组成 |
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引束电源 |
用于空心阴极产生等离子体电子束的诱导电源 |
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主束电源 |
用于维持空心阴极产生等离子体电子束的工作电源，高密度等离子体电子束轰击靶材使其蒸发 |
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聚焦电源 |
用于聚焦及偏转电子束，修正电子束与靶材的位置关系 |
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枪集束电源 |
用于初步聚焦电子枪电子束 |
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工作要求 |
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输入电源 |
AC380V±10％三相四线制 50-60Hz |
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使用环境 |
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环境温度 0-40℃ |
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冷却水要求 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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主束电源性能参数 色色图片色色图片,校花解胸衣把胸露出来让校花解胸衣把胸露出来让 |
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电源功率范围 |
10-30kW |
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输出电压 |
空载150V |
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输出电流稳定率 |
1% |
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冷却方式 |
10kW风冷 15-30kW水冷 |
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引束电源性能参数 |
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电源功率范围 |
6-12kW |
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输出电压 |
空载800V |
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输出电流稳定率 |
1% |
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冷却方式 |
风冷 |
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聚焦电源性能参数 |
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电源功率范围 |
2kW |
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输出电压 |
空载100V |
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输出电流稳定率 |
1% |
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冷却方式 |
风冷 |
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枪集束电源性能参数 |
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电源功率范围 |
300W |
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输出电压 |
15V |
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输出电流稳定率 |
1% |
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冷却方式 |
风冷 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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